當準備，長期停止使用無油真空泵后，那么需要檢查氣缸內壁、活塞環、十字頭及十字頭滑道、十字頭銷與連桿小頭軸瓦、曲柄銷與連桿、大頭軸瓦等處的磨損情況，時進行更換。然后在停機后趁熱放盡潤滑油、冷卻水，并用清潔潤滑油沖洗曲軸箱后并放出，并注入新的潤滑油后，用手轉動曲軸皮帶輪轉幾圈。并且，將無油真空泵的各孔用塑料布包扎好，防雨水、灰塵、雜物落入，放松三角皮帶，將它給存放在通風、干燥和無腐蝕性氣體的遮蓋場所內。