高轉速旋片式真空泵是真空技術中基本的真空獲得設備之一，其技術支持體現在多個方面。高轉速旋片式真空泵通常采用雙級高速直聯結構，由高壓級與低壓級兩部分組成。這種設計使得泵在運轉時能夠將容器內的氣體大量吸入與排出，當設備獲得真空時，高壓級排氣閥封閉，高壓級入口的氣體將轉送到低壓級，并經低壓級吸入與排出，從而獲得真空度。泵內偏心安裝的轉子與定子固定面相切，旋片在轉子槽內滑動并與定子內壁相接觸，將泵腔分為幾個可變容積。當轉子旋轉時，靠離心力和彈簧的張力使旋片泵腔的內壁保持接觸，轉子旋轉帶動旋片沿泵腔內壁滑動。旋片把轉子、泵腔和兩個端 蓋所圍成的月牙形空間分隔成幾個部分。當轉子旋轉時，與吸氣口相通的空間容積逐漸增大,氣體被吸入而與排氣口相通的空間容積逐漸宿小，氣體被壓縮并排出。高轉速旋片式真空泵通常具有較高的轉速，從而提高了抽氣速率和真空度。由于采用了先進的降噪技術，高轉速旋片式真空泵在運轉時產生的噪聲較低。高轉速旋片式真空泵通常采用緊湊的結構設計，使得其體積較小、重量較輕，便于攜帶和安裝。高轉速旋片式真空泵起動簡單快捷，無需復雜的操作過程。高轉速旋片式真空泵因其優異的性能而廣泛應用于多個領域，如在晶圓清洗、光刻、刻蝕、薄膜沉積等工藝環節中,高轉速旋片式真空泵能夠提供穩定的真空環境,滿足精密加工的需求。在真空鍍膜領域，高轉速旋片式真空泵能夠快速抽除鍍膜室內的空氣和其他雜質氣體，為鍍膜過程創造理想的真空環境。