電動無油真空泵是一種無需任何油作潤滑就能運轉工作的機械真空泵，它通過電動機驅動，在原理的基礎工作上實現了的真空抽取。電動無油真空泵的工作原理常見的有三種，分別與容積泵、爪泵和低溫泵相似，但具體到電動無油真空泵，電動無油真空泵通過電動機驅動葉片或葉輪轉動，產生動力。葉片或葉輪的旋轉會產生氣流和壓力差，將氣體從入口吸入泵內。隨著葉片或葉輪的繼續旋轉，氣體被推向泵的出口，并進一步排出系統， 從而降低系統內部的壓力。此外，電動無油真空泵還有通過活動的機械部件實現容積變化，在體積大時吸入空氣，體積變小時排出空氣。例如爪泵就是通過這種方式工作的。依靠非常高的機械動轉速度，將空氣分子定向撞擊而攜帶走,如分子泵。在接近零度的冷面上,幾乎所有的空氣分子都被冷凍捕集在表面，這種方式稱為低溫泵。電動無油真空泵的特點是無需使用潤滑油進行潤滑，因此對被抽空間沒有油蒸汽污染，不噴油，沒有油蒸汽從泵口排出,不污染環境，屬于產品。由于無需潤滑油，電動無油真空泵在運行過程中能夠減少能量損失，提高泵的效率。由于沒有潤滑油的存在，電動無油真空泵的維護相對簡便,減少了更換潤滑油和清洗泵體的頻率。電動無油真空泵適用于各種需要真空環境的場合，如半導體制造、食品加工等領域。