旋片式真空泵的轉子與泵腔以及轉子與轉子之間有的間隙，互不接觸，且不需要用油潤滑。同時，它的轉子具有良好的幾何對稱性，可以提高轉速，從而能夠制造出結構緊湊的大抽速泵來。在它工作時，整體振動小，容積大，容積利用系數＝0.5左右。在泵腔內并不發生像機械真空泵那樣的壓縮現象，因此它不需要排氣閥。也正因如此，可抽除可凝性蒸汽。