無油真空泵是活塞在氣缸中往復運動形成缸內氣體的膨脹的壓縮，并通過軸向布置的進排氣閥組成吸排氣動作，獲得真空。它廣泛應用于石油、化工、制藥、食品、冶煉、電子等工業部門的真空蒸餾、真空干燥、真空過濾、真空結晶、真空冶煉等方面。主要具備的優勢有：
1.真空度較高。
2.無油潤滑可獲得潔凈真空。
3.沒有廢水，冷卻水可循環利用。
4.能量利用率高，節能明顯，節水、節省占地面積。