臨海無油真空泵相對有油真空泵來說，抽取的氣體不會摻雜油氣。可獲得潔凈的真空環境。另外，如果抽取的氣體對油有腐蝕性，或者含大量水分等可破壞油的物質，那就需要無油真空泵而不能使用有油真空泵。因為有油真空泵里面的油一般是用來潤滑和密封的。油被腐蝕或者乳化等，真空泵就沒辦法正常運行了。